Дослідження можливості збудження ультразвукови х-радіальних коливань у пластинах кремнію
Loading...
Date
2004
Authors
Оліх, Ярослав.
Деміденко, Олексій
Лисюк, Ігор
Романюк, Борис
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
Запропоновано теоретичну модель складеного резонатора з пластини кремнію (І11)-зрізу і п'єзокераміки ЦТС-19 для опису збудження радіальних коливань у системі тонких дисків. Модель експериментальна перевірена. Результати методики розрахунку можуть бути використані для знаходження резонансних
частот складеного резонатора, розподілу пружних зміщень і напругу напівпровідникових дисках
Description
To describe radial waves in system consisted of thin disks a new theoretical approach of compound
resonator has been proposed. The approach has been verified experimentally for compound resonator made
from silicon (lll)-cut and piezoelectric disks. The approach can be used to determine resonance frequencies of
compound resonator and distribution of displacement and stresses in semiconductor wafers.
Keywords
кремній, х-радіальне коливання, низькотемпературний спосіб, радіальне коливання
Citation
Дослідження можливості збудження ультразвукових радіальних коливань у пластинах кремнію / Я. М. Оліх, О. А. Деміденко, І. О. Лисюк, Б. М. Романюк // Наукові записки НаУКМА. - 2004. - Т. 23 : Фізико-математичні науки. - С. 53-58.