Методами інфрачервоного поглинання та комбінаційного розсіювання світла досліджено вплив
режимів термічних обробок на трансформацію оптичних та структурних властивостей шарів
оксиду гафнію, легованого германієм, одержаних методом магнетронного напилення. Показано, що
при обробках відбувається розділ фаз та утворення нанокристалітів германію. Продемонстровано
ефекти пам’яті, які зумовлені присутністю нанокристалітів германію. Визначено оптимальні
технологічні умови, що сприяють одержанню максимального ефекту пам’яті.