Еліпсометричні дослідження модифікації поверхні дзеркал з нержавіючої сталі при опроміненні іонами D+ та Аr+
Loading...
Date
2000
Authors
Поперенко, Л.
Стащук, В.
Вінніченко, М.
Бардамід, О.
Мелещук, О.
Войценя, В.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
Досліджено дзеркала із полікристалічноїнержавію чої сталі, опромінені пучками моноенергетичних іонів И + та Аг * з енергіями, які не перевищували 1,5 кеВ. З метою опису модифікації поверхні дзеркал при іонному опроміненні застосовували еліпсометрію при багатьох кутах падіння світла (довжин хвилі X = 632,8нм), спектральну еліпсометрію (енергія зондуючих фотонів Иу - 0,49—5,00 еВ) та скануючу електронну мікроскопію. Дослідження спектрів оптичних характеристик для нержавіючої сталі показало, що опромінення іонами Аг+ зумовлює більше зменшення оптичної провідності у всьому спектральному інтервалі, ніж опромінення іонами И+ такої ж енергії, та при близьких зна ченнях товщини розпиленого шару. В обох випадках спостерігається суттєве розширення відповідних смуг поглинання. За даними скануючої електронної мікроскопії мікрорельєф поверхні у випадках обробки різними іонами відрізняється, проте моделювання оптичних властивостей у наближенні ефективного середовища продемонструвало, що зміни оптичних властивостей дзеркал не можуть бути пояснені тільки зміною шорсткості поверхні й формування дефектів у приповерхневому прошарку також має бути враховано.
The polycrystalline stainless steel mirrors irradiated by D+ and Ar+ ions of given energy not exceeding 1,5 keV were studied. The multiple angles of incident light ellipsometry (wavelength X = 632.8 nm), spectral ellipsometry (probing photons energy range hv = 0,49—5,00 eV) and scanning electron microscopy were applied to characterisethe surface modification under the ion treatment. Studies of optical characteristics spectra have shown that stainless steel mirror bombardment by Ar+ ions deteriorates its optical conductivity in the whole spectral interval more than bombardment by D+ ions of the same energy, with similar values of the sputtered layer thickness. In both cases, significant broadening of absorption bands was observed. The scanning electron microscopy has revealed changes in surface microrelief in case of treatment by different types of ions, however, simulations using effective medium approximation have shown that changes of optical properties for specular surfaces could not be explained only in terms of the surface roughening and influence of the subsurface defects formation and subsurface layer disordering should be considered.
The polycrystalline stainless steel mirrors irradiated by D+ and Ar+ ions of given energy not exceeding 1,5 keV were studied. The multiple angles of incident light ellipsometry (wavelength X = 632.8 nm), spectral ellipsometry (probing photons energy range hv = 0,49—5,00 eV) and scanning electron microscopy were applied to characterisethe surface modification under the ion treatment. Studies of optical characteristics spectra have shown that stainless steel mirror bombardment by Ar+ ions deteriorates its optical conductivity in the whole spectral interval more than bombardment by D+ ions of the same energy, with similar values of the sputtered layer thickness. In both cases, significant broadening of absorption bands was observed. The scanning electron microscopy has revealed changes in surface microrelief in case of treatment by different types of ions, however, simulations using effective medium approximation have shown that changes of optical properties for specular surfaces could not be explained only in terms of the surface roughening and influence of the subsurface defects formation and subsurface layer disordering should be considered.
Description
Keywords
еліпсометричні дослідження, опроміненні іонами D+ та Аr+, спектральний інтервал
Citation
Поперенко Л. В., Стащук В. С, Вінніченко М. В. та ін. Еліпсометричні дослідження модифікації поверхні дзеркал з нержавіючої сталі при опромі ненні іонами D+ та Аr+ / Л. В. Поперенко, В. С. Стащук, М. В. Вінніченко та ін. // Наукові записки НаУКАМА. - 2000. - Т. 18: Фізико-математичні науки. - С. 63-66.