Люмінесцентна діагностика імплантованого кремнію
| dc.contributor.author | Рудько, Галина | |
| dc.contributor.author | Валах, М. | |
| dc.contributor.author | Шахрайчук, М. | |
| dc.date.accessioned | 2023-10-23T08:13:41Z | |
| dc.date.available | 2023-10-23T08:13:41Z | |
| dc.date.issued | 1997 | |
| dc.description.abstract | Тези доповіді учасників третьої щорічної наукової конференції, присвяченої 400-й річниці народження і 350-й річниці смерті Петра Могили "Україна: людина, суспільство, природа", м. Київ, 23-24 січня 1997 р. | uk_UA |
| dc.identifier.citation | Рудько Г. Ю. Люмінесцентна діагностика імплантованого кремнію / Г. Рудько, М. Валах, М. Шахрайчук // Україна: людина, суспільство, природа : третя щорічна наукова конференція, присвячена 400-й річниці народження і 350-й річниці смерті Петра Могили : тези доповідей / орг. комітет: Валерій Маньківський (голова) [та ін.] ; Національний університет "Києво-Могилянська академія". - Київ : НаУКМА, 1997. - С. 172. | uk_UA |
| dc.identifier.uri | https://ekmair.ukma.edu.ua/handle/123456789/26631 | |
| dc.language.iso | uk | uk_UA |
| dc.publisher | Національний університет "Києво-Могилянська академія" | uk_UA |
| dc.relation.source | Україна: людина, суспільство, природа : третя щорічна наукова конференція, присвячена 400-й річниці народження і 350-й річниці смерті Петра Могили : тези доповідей | uk_UA |
| dc.status | first published | uk_UA |
| dc.subject | іонна імплантація | uk_UA |
| dc.subject | мікроелектроніка | uk_UA |
| dc.subject | кристалічна гратка | uk_UA |
| dc.subject | багатоекситонно-домішкові комплекси | uk_UA |
| dc.subject | термічний відпал | uk_UA |
| dc.subject | кремній | uk_UA |
| dc.subject | тези конференції | uk_UA |
| dc.title | Люмінесцентна діагностика імплантованого кремнію | uk_UA |
| dc.type | Conference materials | uk_UA |
Files
Original bundle
1 - 1 of 1
Loading...
- Name:
- Liuminestsentna_diahnostyka_implantovanoho_kremniiu.pdf
- Size:
- 79.42 KB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
License bundle
1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
- Name:
- license.txt
- Size:
- 1.71 KB
- Format:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Description: