Люмінесцентна діагностика імплантованого кремнію
Loading...
Date
1997
Authors
Рудько, Галина
Валах, М.
Шахрайчук, М.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Національний університет "Києво-Могилянська академія"
Abstract
Тези доповіді учасників третьої щорічної наукової конференції, присвяченої 400-й річниці народження і 350-й річниці смерті Петра Могили "Україна: людина, суспільство, природа", м. Київ, 23-24 січня 1997 р.
Description
Keywords
іонна імплантація, мікроелектроніка, кристалічна гратка, багатоекситонно-домішкові комплекси, термічний відпал, кремній, тези конференції
Citation
Рудько Г. Ю. Люмінесцентна діагностика імплантованого кремнію / Г. Рудько, М. Валах, М. Шахрайчук // Україна: людина, суспільство, природа : третя щорічна наукова конференція, присвячена 400-й річниці народження і 350-й річниці смерті Петра Могили : тези доповідей / орг. комітет: Валерій Маньківський (голова) [та ін.] ; Національний університет "Києво-Могилянська академія". - Київ : НаУКМА, 1997. - С. 172.