Дослідження можливості збудження ультразвукови х-радіальних коливань у пластинах кремнію

Simple item page
dc.contributor.authorОліх, Ярослав.
dc.contributor.authorДеміденко, Олексій
dc.contributor.authorЛисюк, Ігор
dc.contributor.authorРоманюк, Борис
dc.date.accessioned2016-02-16T10:13:46Z
dc.date.available2016-02-16T10:13:46Z
dc.date.issued2004
dc.descriptionTo describe radial waves in system consisted of thin disks a new theoretical approach of compound resonator has been proposed. The approach has been verified experimentally for compound resonator made from silicon (lll)-cut and piezoelectric disks. The approach can be used to determine resonance frequencies of compound resonator and distribution of displacement and stresses in semiconductor wafers.en
dc.description.abstractЗапропоновано теоретичну модель складеного резонатора з пластини кремнію (І11)-зрізу і п'єзокераміки ЦТС-19 для опису збудження радіальних коливань у системі тонких дисків. Модель експериментальна перевірена. Результати методики розрахунку можуть бути використані для знаходження резонансних частот складеного резонатора, розподілу пружних зміщень і напругу напівпровідникових дискахuk
dc.identifier.citationДослідження можливості збудження ультразвукових радіальних коливань у пластинах кремнію / Я. М. Оліх, О. А. Деміденко, І. О. Лисюк, Б. М. Романюк // Наукові записки НаУКМА. - 2004. - Т. 23 : Фізико-математичні науки. - С. 53-58.uk
dc.identifier.urihttps://ekmair.ukma.edu.ua/handle/123456789/8358
dc.language.isoukuk
dc.relation.sourceНаукові записки НаУКМА: Фізико-математичні наукиuk
dc.statuspublished earlieruk
dc.subjectкремнійuk
dc.subjectх-радіальне коливанняuk
dc.subjectнизькотемпературний спосібuk
dc.subjectрадіальне коливанняuk
dc.titleДослідження можливості збудження ультразвукови х-радіальних коливань у пластинах кремніюuk
dc.title.alternativeResearch of excitation possibility of radial ultrasonic vibrations in silicon wafersen
dc.typeArticleuk
Files
Original bundle
Now showing 1 - 1 of 1
Thumbnail Image
Name:
Olikh_Doslidzhennya_mozhlyvosti_zbudzhennya.pdf
Size:
360.08 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Download
License bundle
Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
license.txt
Size:
7.54 KB
Format:
Item-specific license agreed upon to submission
Description:
Download
Collections
023: Фізико-математичні науки