Методами інфрачервоного поглинання та комбінаційного розсіювання світла досліджено вплив
режимів термічних обробок на трансформацію оптичних та структурних властивостей шарів
оксиду гафнію, легованого германієм, одержаних методом магнетронного напилення. Показано, що
при обробках відбувається розділ фаз та утворення нанокристалітів германію. Продемонстровано
ефекти пам’яті, які зумовлені присутністю нанокристалітів германію. Визначено оптимальні
технологічні умови, що сприяють одержанню максимального ефекту пам’яті.
The paper addresses the effect of thermal treatment on the transformation of optical and structural
properties of thin films of hafnium oxide doped with germanium. The films were grown by magnetron
sputtering and investigated with infrared absorption and Raman scattering methods. It was proven that the
thermal treatment causes a phase separation process and the formation of germanium nanocrystallites. The
presence of germanium nanocrystallites leads to memory effects. The study has determined the optimal
technological conditions allowed to achieve the widest memory window.
