Оліх, Ярослав.Деміденко, ОлексійЛисюк, ІгорРоманюк, Борис2016-02-162016-02-162004Дослідження можливості збудження ультразвукових радіальних коливань у пластинах кремнію / Я. М. Оліх, О. А. Деміденко, І. О. Лисюк, Б. М. Романюк // Наукові записки НаУКМА. - 2004. - Т. 23 : Фізико-математичні науки. - С. 53-58.https://ekmair.ukma.edu.ua/handle/123456789/8358To describe radial waves in system consisted of thin disks a new theoretical approach of compound resonator has been proposed. The approach has been verified experimentally for compound resonator made from silicon (lll)-cut and piezoelectric disks. The approach can be used to determine resonance frequencies of compound resonator and distribution of displacement and stresses in semiconductor wafers.Запропоновано теоретичну модель складеного резонатора з пластини кремнію (І11)-зрізу і п'єзокераміки ЦТС-19 для опису збудження радіальних коливань у системі тонких дисків. Модель експериментальна перевірена. Результати методики розрахунку можуть бути використані для знаходження резонансних частот складеного резонатора, розподілу пружних зміщень і напругу напівпровідникових дискахukкремнійх-радіальне коливаннянизькотемпературний спосібрадіальне коливанняArticle