Смірнов, ОлексійЛембік, Ярослав2023-02-162023-02-162021https://ekmair.ukma.edu.ua/handle/123456789/24698Метою цієї роботи було показати, на прикладі GaAs, що обробка напівпровідникових кристалів ультразвуком має потужний технологічний потенціал.ukУЗ кавітаціяелектрокінетичні явищаелектричний струмлокальні теплові ефектинапівпровідникові кристалибакалаврська роботаМодифікація монокристалічного GaAs у кріогенному середовищі шляхом УЗ кавітаціїOther