Корсунська, НадіяМаркевич, ІринаБорковська, ЛюдмилаХоменкова, ЛарисаСавкіна, РадаСмірнов, ОлексійВенгер, ЄвгенМельничук, ЛюдмилаМельничук, Олександр2024-05-032024-05-032019Вплив термічно та радіаційно стимульованих процесів дифузії на властивості матеріалів мікроелектроніки та приладів на їх основі : монографія / Корсунська Н. О., Маркевич І. В., Борковська Л. В., Хоменкова Л. Ю., Савкіна Р. К., Смірнов О. Б., Венгер Є. Ф., Мельничук Л. Ю., Мельничук О. В. ; Ніжинський державний університет імені Миколи Гоголя. - Ніжин : Вид-во НДУ ім. М. Гоголя, 2019. - 210 с. : рис., табл.978-617-527-196-4https://ekmair.ukma.edu.ua/handle/123456789/29392The results of the investigation of the transformation of structural, optical, electrical and luminescent properties of semiconductor and dielectric materials as a result of thermal, ultrasonic and radiation treatments are presented. Methods of materials manufacturing are described. Attention is paid to the processes of thermal diffusion of impurities and intrinsic defects, their diffusion under illumination, and also the drift of defects in the electric field; interaction of bulk defects; the formation of different types of radiation defects, as well as processes of phase-structural transformations in various compounds and their solid solutions. The influence of these processes on the stability of the devices on the basis of such materials is considered and the factors responsible for degradation of devices are determined. For students, graduate students of physical faculties, as well as scientists working in the field of solid state physics.Наведено результати досліджень трансформації структурних, оптичних, електричних та люмінесцентних властивостей напівпровідникових та діелектричних матеріалів внаслідок термічної, ультразвукової та радіаційної обробки. Описані методи виготовлення матеріалів. Приділяється увага процесам термічної дифузії домішок та власних дефектів, їх дифузії під дією світла, а також дрейфу дефектів в електричному полі; взаємодії об’ємних дефектів; утворенню різного типу радіаційних дефектів, а також процесам фазово-структурних перетворень в різних сполуках та їх твердих розчинах. Розглянуто вплив цих процесів на стабільність роботи приладів на основі таких матеріалів та визначено чинники, що відповідають за процеси деградації приладів. Для студентів, аспірантів фізичних факультетів, а також для науковців, які працюють у галузі фізики твердого тіла.ukтермічна дифузія домішокелектричне полеультразвукове коливаннятипи дифузійних процесівмонографіяBook