Дослідження можливості збудження ультразвукови х-радіальних коливань у пластинах кремнію

Оліх, Ярослав.; Деміденко, Олексій; Лисюк, Ігор; Романюк, Борис

dc.contributor.author	Оліх, Ярослав.
dc.contributor.author	Деміденко, Олексій
dc.contributor.author	Лисюк, Ігор
dc.contributor.author	Романюк, Борис
dc.date.accessioned	2016-02-16T10:13:46Z
dc.date.available	2016-02-16T10:13:46Z
dc.date.issued	2004
dc.identifier.citation	Дослідження можливості збудження ультразвукових радіальних коливань у пластинах кремнію / Я. М. Оліх, О. А. Деміденко, І. О. Лисюк, Б. М. Романюк // Наукові записки НаУКМА. - 2004. - Т. 23 : Фізико-математичні науки. - С. 53-58.	uk
dc.identifier.uri	http://ekmair.ukma.edu.ua/handle/123456789/8358
dc.description	To describe radial waves in system consisted of thin disks a new theoretical approach of compound resonator has been proposed. The approach has been verified experimentally for compound resonator made from silicon (lll)-cut and piezoelectric disks. The approach can be used to determine resonance frequencies of compound resonator and distribution of displacement and stresses in semiconductor wafers.	en
dc.description.abstract	Запропоновано теоретичну модель складеного резонатора з пластини кремнію (І11)-зрізу і п'єзокераміки ЦТС-19 для опису збудження радіальних коливань у системі тонких дисків. Модель експериментальна перевірена. Результати методики розрахунку можуть бути використані для знаходження резонансних частот складеного резонатора, розподілу пружних зміщень і напругу напівпровідникових дисках	uk
dc.language.iso	uk	uk
dc.subject	кремній	uk
dc.subject	х-радіальне коливання	uk
dc.subject	низькотемпературний спосіб	uk
dc.subject	радіальне коливання	uk
dc.title	Дослідження можливості збудження ультразвукови х-радіальних коливань у пластинах кремнію	uk
dc.title.alternative	Research of excitation possibility of radial ultrasonic vibrations in silicon wafers	en
dc.type	Article	uk
dc.status	published earlier	uk
dc.relation.source	Наукові записки НаУКМА: Фізико-математичні науки	uk