eKMAIR

Дослідження можливості збудження ультразвукови х-радіальних коливань у пластинах кремнію

Show simple item record

dc.contributor.author Оліх, Ярослав.
dc.contributor.author Деміденко, Олексій
dc.contributor.author Лисюк, Ігор
dc.contributor.author Романюк, Борис
dc.date.accessioned 2016-02-16T10:13:46Z
dc.date.available 2016-02-16T10:13:46Z
dc.date.issued 2004
dc.identifier.citation Дослідження можливості збудження ультразвукових радіальних коливань у пластинах кремнію / Я. М. Оліх, О. А. Деміденко, І. О. Лисюк, Б. М. Романюк // Наукові записки НаУКМА. - 2004. - Т. 23 : Фізико-математичні науки. - С. 53-58. uk
dc.identifier.uri http://ekmair.ukma.edu.ua/handle/123456789/8358
dc.description To describe radial waves in system consisted of thin disks a new theoretical approach of compound resonator has been proposed. The approach has been verified experimentally for compound resonator made from silicon (lll)-cut and piezoelectric disks. The approach can be used to determine resonance frequencies of compound resonator and distribution of displacement and stresses in semiconductor wafers. en
dc.description.abstract Запропоновано теоретичну модель складеного резонатора з пластини кремнію (І11)-зрізу і п'єзокераміки ЦТС-19 для опису збудження радіальних коливань у системі тонких дисків. Модель експериментальна перевірена. Результати методики розрахунку можуть бути використані для знаходження резонансних частот складеного резонатора, розподілу пружних зміщень і напругу напівпровідникових дисках uk
dc.language.iso uk uk
dc.subject кремній uk
dc.subject х-радіальне коливання uk
dc.subject низькотемпературний спосіб uk
dc.subject радіальне коливання uk
dc.title Дослідження можливості збудження ультразвукови х-радіальних коливань у пластинах кремнію uk
dc.title.alternative Research of excitation possibility of radial ultrasonic vibrations in silicon wafers en
dc.type Article uk
dc.status published earlier uk
dc.relation.source Наукові записки НаУКМА: Фізико-математичні науки uk


Files in this item

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Search DSpace


Browse

My Account

Statistics