Abstract:
Запропоновано теоретичну модель складеного резонатора з пластини кремнію (І11)-зрізу і п'єзокераміки ЦТС-19 для опису збудження радіальних коливань у системі тонких дисків. Модель експериментальна перевірена. Результати методики розрахунку можуть бути використані для знаходження резонансних
частот складеного резонатора, розподілу пружних зміщень і напругу напівпровідникових дисках
Description:
To describe radial waves in system consisted of thin disks a new theoretical approach of compound
resonator has been proposed. The approach has been verified experimentally for compound resonator made
from silicon (lll)-cut and piezoelectric disks. The approach can be used to determine resonance frequencies of
compound resonator and distribution of displacement and stresses in semiconductor wafers.
